SEM5000E超高分辨場發射掃描電子顯微鏡

簡要描述：SEM5000E超高分辨場發射掃描電子顯微鏡是一款超高分辨率場發射掃描電鏡，電子光學鏡筒設計優化，綜合像差降低了 30%，從而達到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高穩定性，可在優良納米結構和納米材料的研究、芯片半導體的研發制造等領域發揮其性能優勢。

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廠商性質：代理商
更新時間：2025-06-06
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紅外光譜儀/顯微鏡

電子顯微鏡光譜分析儀

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詳細介紹

品牌	國儀量子	產地類別	國產
價格區間	面議	儀器種類	場發射
應用領域	能源,電子/電池,電氣	分辨率	0.6 nm @ 15 kV,SE/1.0 nm @1kV，SE
加速電壓	20V~30 kV	放大倍率	1 ~ 2,500,000x
電子槍類型	肖特基場發射電子槍

SEM5000E超高分辨場發射掃描電子顯微鏡是一款超高分辨率場發射掃描電鏡，電子光學鏡筒設計優化，綜合像差降低了 30%，從而達到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高穩定性，可在優良納米結構和納米材料的研究、芯片半導體的研發制造等領域發揮其性能優勢。

SEM5000E超高分辨場發射掃描電子顯微鏡

SEM5000E超高分辨場發射掃描電子顯微鏡

產品優勢

超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

高壓隧道技術，挑戰極限樣品拍攝場景

高精度機械優中心樣品臺，可搭配整體罩殼設計，極大減弱環境對極限分辨率的影響

最大支持4寸晶圓的快速換樣倉，滿足半導體和科研應用需求

產品參數

關鍵參數	分辨率	0.6 nm @ 15 kV，SE
	分辨率	1.0 nm @ 1 kV，SE
	加速電壓	20 V ~ 30 kV
	放大倍率	1 ~ 2,500,000 x
	電子槍類型	肖特基場發射電子槍
樣品室	攝像頭	雙攝像頭（光學導航+樣品倉內監控）
	樣品臺行程	X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
	樣品臺行程	T: -10°~+70°，R: 360°
探測器和擴展	標配	鏡筒內電子探測器（Inlens）
	標配	倉室內電子探測器（ETD）
	選配	插入式背散射電子探測器（BSED）（五分割，可選配）
		插入式掃描透射探測器（STEM）
		能譜儀（EDS）
		背散射衍射（EBSD）
		樣品交換倉（4寸）
		軌跡球&旋鈕板
軟件	語言	中文
	操作系統	Windows
	導航	光學導航、手勢快捷導航，軌跡球（選配）
	圖像記錄	TIFF、JPG、PNG、BMP等
	自動功能	自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散

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