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國儀量子SEM5000Pro場發(fā)射掃描電鏡

簡要描述:國儀量子SEM5000Pro場發(fā)射掃描電鏡是低電壓高分辨的熱場發(fā)射掃描電鏡,使用了高壓隧道技術(Super-Tunnel)、無交叉電子光路、靜電電磁復合物鏡設計,減少了空間電荷效應,降低系統(tǒng)像差,實現(xiàn)了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低壓下的成像分辨能力提升,可對不導電樣品或半導體樣品進行直接觀察,有效降低了樣品輻照損傷。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-06-06
  • 訪  問  量:524

詳細介紹

品牌國儀量子產(chǎn)地類別國產(chǎn)
價格區(qū)間面議儀器種類場發(fā)射
應用領域能源,電子/電池,電氣加速電壓20 V~30kV(可升級35kV)
放大倍率1~ 2,500,000x電子槍類型肖特基場發(fā)射電子槍

國儀量子SEM5000Pro場發(fā)射掃描電鏡是低電壓高分辨的熱場發(fā)射掃描電鏡,使用了高壓隧道技術(Super-Tunnel)、無交叉電子光路、靜電電磁復合物鏡設計,減少了空間電荷效應,降低系統(tǒng)像差,實現(xiàn)了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低壓下的成像分辨能力提升,可對不導電樣品或半導體樣品進行直接觀察,有效降低了樣品輻照損傷。

國儀量子SEM5000Pro場發(fā)射掃描電鏡

國儀量子SEM5000Pro場發(fā)射掃描電鏡

產(chǎn)品特點

1、分辨率高,低加速電壓下實現(xiàn)高分辨成像

2、電磁復合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品

3、高壓隧道技術(SuperTunnel) ,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應,低電壓分辨率得到保證

4、電子光路無交叉,有效的降低系統(tǒng)像差,提升分辨能力

5、水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復性

6、磁偏轉六孔可調光闌,自動切換光闌孔,無需機械調節(jié),實現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

產(chǎn)品參數(shù)

關鍵參數(shù)分辨率

0.8 nm @ 15 kV,SE

1.2 nm @ 1.0 kV,SE

0.7 nm @ 35 kV STEM

加速電壓20 V ~ 30 kV (可升級35kV)
放大倍率1 ~ 2,500,000 x
電子槍類型肖特基場發(fā)射電子槍
樣品室攝像頭雙攝像頭
(光學導航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控)

樣品臺行程

X: 110 mm,Y: 110 mm,Z: 65 mm
T: -10°~ +70°, R: 360°

探測器和擴展標配鏡筒內(nèi)電子探測器:Inlens
倉室內(nèi)電子探測器:ETD
選配

插入式背散射電子探測器(BSED)(五分割,可選配)
插入式掃描透射探測器(STEM)

低真空二次電子探測器(LVD)
能譜儀(EDS)

背散射衍射(EBSD)

樣品交換倉(4 寸 /8 寸)

軌跡球&旋鈕板

軟件語言中文SEM軟件
操作系統(tǒng)Windows
導航光學導航、手勢快捷導航、軌跡球(選配)
自動功能自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散

應用案例

國儀量子SEM5000Pro場發(fā)射掃描電鏡


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